КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ

Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.

 

ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ


Номер 20-79-10092

НазваниеРазработка фотонных кристаллов на основе наноструктур GeSiSn с элементами плазмоники

РуководительТимофеев Вячеслав Алексеевич, Кандидат физико-математических наук

Организация финансирования, регион Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирская обл

Период выполнения при поддержке РНФ 07.2023 - 06.2025 

Конкурс Конкурс 2023 года на продление сроков выполнения проектов, поддержанных грантами Российского научного фонда по мероприятию «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными (50).

Область знания, основной код классификатора 09 - Инженерные науки, 09-703 - Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники

Ключевые словафотонный кристалл, фотонная запрещенная зона, резонансная полость, поверхностный плазмон, экстраординарное пропускание, германий, кремний, олово, сверхрешетка, квантовая точка, наноструктура, молекулярно-лучевая эпитаксия, дифракция, люминесценция, оптические константы

Код ГРНТИ47.09.48


 

ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ


Аннотация
Проект направлен на создание новых материалов на основе Ge-Si-Sn, совмещенных с искусственными электромагнитными средами, с уникальными электронными и фотонными зонными структурами. Достижение научных результатов планируется методами современной нанофотоники с разработкой структурированных электромагнитных метаматериалов, сопряженных с многослойными структурами и сверхрешетками с гетеропереходами GeSiSn/Si(Ge), а также наногетероструктурами с квантовыми точками GeSiSn. Предыдущие исследования в рамках проекта были посвящены двумерным фотонным кристаллам и мультирезонансным плазмонным структурам. Было показано усиление сигнала фотолюминесценции от множественных квантовых ям GeSiSn/Si, встроенных в фотонно-кристаллическую структуру, почти на порядок вблизи длины волны 1.8 мкм. На основе множественных квантовых ям GeSiSn/Si с фотонно-кристаллическим слоем была получена серия p-i-n фотодиодов, демонстрирующих увеличение фототока в несколько раз на длинах волн, соответствующих квазиволноводным модам. Длинноволновая граница чувствительности изменялась в диапазоне от 1.4 до 2.25 мкм в зависимости от состава квантовой ямы GeSiSn. Дальнейшее увеличение рабочей длины волны будет достигаться получением высококачественных структур с повышенным содержанием олова. Другим перспективным подходом расширения рабочего диапазона является создание многослойных структур с квантовыми точками GeSiSn и систем с квантовыми точками поверх квантовых ям. На основе таких наногетероструктур будут разработаны фотонно-кристаллические структуры с микрорезонаторами, а также метаматериалы, представленные массивом Ми-резонаторов, и гибридные металлодиэлектрические системы для увеличения эффективности фотоприемных и светоизлучающих структур. Впервые будут созданы структурированные метаматериалы, совмещенные с гетероструктурами GeSiSn/Si(Ge), обладающие уникальными резонансными и необычными дисперсионными свойствами, которые позволят эффективно локализовывать электромагнитное поле в активной области, многократно увеличивать его интенсивность и получать богатую модовую структуру. Благодаря новому классу материалов на основе соединений GeSiSn будет расширен рабочий спектральный диапазон устройств нанофотоники, в том числе элементов интегральной фотоники, систем полностью оптической обработки информации и волоконно-оптических линий связи нового поколения на длине волны 2 мкм и более.

Ожидаемые результаты
Класс материалов Ge-Si-Sn позволяет регулировать рабочую длину волны устройств нанофотоники в диапазоне от 1.55 мкм вплоть до 8 мкм [1-3]. Несмотря на то, что в настоящее время ведутся разработки эффективных фотонных устройств, использующих соединения GeSiSn, в них чаще всего используют толстые слои, осажденные на виртуальную подложку Ge [4, 5]. Такие структуры содержат большое количество дислокаций. Мы отработали технологию роста наногетероструктур с упругонапряженными бездислокационными слоями GeSiSn. Для достижения характеристик устройств, удовлетворяющих современным требованиям, необходимо создание новых подходов и технологий, которые повысят эффективность взаимодействия света с веществом. На сегодняшний день ведется поиск подходов и методов получения высококачественных материалов Ge-Si-Sn с управляемыми электронными и фотонными свойствами. На основе элементов IV группы (Ge, Si, Sn) будут впервые созданы новые материалы, совмещенные с искусственными электромагнитными средами с уникальными электронными и фотонными зонными структурами. Будут установлены закономерности формирования многослойных структур и сверхрешеток с гетеропереходами GeSiSn/Si(Ge), массивов квантовых точек GeSiSn, а также систем с квантовыми точками поверх квантовой ямы, разного состава и профиля энергетической диаграммы. Такие наногетероструктуры будут встроены в активную область электромагнитных метаматериалов для усиления фотоотклика и светоизлучения. В качестве усиливающих структур будут разработаны и реализованы фотонно-кристаллические структуры с микрорезонаторами, а также метаматериалы, представленные массивом Ми-резонаторов, и гибридные металлодиэлектрические системы. В результате выполнения проекта будут созданы эффективные светоизлучающие и фотоприемные устройства ближнего и среднего инфракрасного диапазона на основе p-i-n диодов, содержащих метаматериалы со встроенными гетероструктурами GeSiSn/Si(Ge). Разработка фотонных устройств на основе материалов Ge-Si-Sn, совместимых с кремниевой технологией, открывает возможности применений этих приборов в таких направлениях отечественной электронной промышленности как интегральная фотоника, системы оптической обработки информации, волоконно-оптические линии связи нового поколения, сенсорика (газовые и биологические сенсоры), биомедицинская диагностика и дистанционное зондирование, а также тепловидение. [1] C. Chang, H. Li, C.-T. Ku, S.-G. Yang, H. H. Cheng, J. Hendrickson, R. A. Soref, G. Sun, Ge0.975Sn0.025 320 × 256 imager chip for 1.6-1.9 μm infrared vision, Applied Optics 55 (36) (2016) 10170–10173. [2] M. R. M. Atalla, S. Assali, A. Attiaoui, C. Lemieux-Leduc, A. Kumar, S. Abdi, O. Moutanabbir, All-Group IV Transferable Membrane Mid-Infrared Photodetectors, Advanced Functional Materials 31 (3) (2020) 2006329. [3] C. Xu, D. Ringwala, D. Wang, L. Liu, C. D. Poweleit, S. L. Y. Chang, H. L. Zhuang, J. Menendez, J. Kouvetakis, Synthesis and Fundamental Studies of Si-Compatible (Si)GeSn and GeSn Mid-IR Systems with Ultrahigh Sn Contents, Chemistry of Materials 31 (2019) 9831–9842. [4] R. Douhan, K. Lozovoy, A. Kokhanenko, H. Deeb, V. Dirko and K. Khomyakova, Recent Advances in Si-Compatible Nanostructured Photodetectors, Technologies 11(1) (2023) 17. [5] D. Grützmacher, O. Concepción, Q.‑T. Zhao, D. Buca, Si–Ge–Sn alloys grown by chemical vapour deposition: a versatile material for photonics, electronics, and thermoelectrics, Applied Physics A 129 (2023) 235.


 

ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ


Аннотация результатов, полученных в 2023 году
Впервые была отработана технология роста методом молекулярно-лучевой эпитаксии многослойных периодических структур с квантовыми точками (КТ) GeSiSn, а также квантовых точек Ge поверх квантовых ям (КЯ) GeSiSn/Si. На основе изображений сканирующей электронной микроскопии были определены средний размер основания и плотность КТ GeSiSn. Вакансионные комплексы, возникающие при низкотемпературном росте слоев GeSiSn и Si, были изучены методом спектроскопии допплеровского уширения аннигиляционной линии с использованием пучка позитронов переменной энергии. Показано, что плотность вакансионных комплексов в области КЯ GeSiSn/Si снижается после высокотемпературного отжига. Уменьшение плотности дефектов объясняется образованием групп вакансий. Методом ИК-Фурье спектроскопии фотолюминесценции (ФЛ) были исследованы оптические свойства различных сформированных структур нанофотоники на основе GeSiSn. Так, от наноструктур с квантовыми точками GeSiSn/Si была получена люминесценция в диапазоне 1.5-2 мкм. Показано, что наиболее вероятным переходом в исследуемых структурах является переход между подзоной ∆4 в Si и уровнем тяжелых дырок в квантовых точках GeSiSn. Показано хорошее соответствие энергий излучательных переходов между теоретическими и экспериментальными данными. На основе слоев с КТ GeSiSn разработаны и изготовлены макеты p-i-n фотодиодов. Установлено, что максимальное значение длинноволновой границы чувствительности для КТ GeSiSn достигает значения 2.65 мкм. Также была впервые продемонстрирована люминесценция наногетероструктур с квантовыми точками Ge, выращенными поверх квантовых ям GeSiSn/Si. Было показано, что формирование КТ Ge поверх КЯ позволило сдвинуть сигнал ФЛ в область меньших энергий для каждого типа структур на величину до 100 мэВ, при этом максимально достигнутая длина волны излучения составила 2.1 мкм. Далее для p-i-n диодных структур на основе GeSiSn/Ge в спектрах низкотемпературной фотолюминесценции наблюдались пики при 0.49 эВ, возникающие в слое GeSiSn. Таким образом, продемонстрирована ИК люминесценция от диодных структур для длин волн около 2.5 мкм. Применение метода ИК фурье-спектроскопии фотоотражения для исследования зонной структуры твердых растворов GeSiSn позволило экспериментально наблюдать прямые межзонные переходы в эпитаксиальных слоях GeSn и GeSiSn различного состава. Для исследуемых образцов с высокой точностью получены энергии переходов, определены их температурные зависимости, и показано влияние отжига на оптические свойства образцов. В спектрах фотоотражения гетероструктур GeSn/Ge наблюдалось раздвоение основного пика, свидетельствующее о расщеплении валентной зоны GeSn на подзоны тяжелых и легких дырок вследствие наличия механических напряжений в структуре. Методом ИК фурье-спектроскопии анизотропного отражения были выявлены энергии мод локализованного поверхностного плазмонного резонанса, возникающего вдоль длинной и короткой сторон массивов алюминиевых наноантенн, нанесенных на поверхность гетероструктур GeSiSn/Si с множественными квантовыми ямами (МКЯ). Продемонстрировано, что обе моды плазмонного резонанса (вдоль длинной и короткой стороны наноантенн) возбуждаются в ближнем ИК диапазоне, при этом интенсивности отличаются практически на порядок. Посредством подбора оптимального соотношения сторон, обеспечивающего наилучшее согласование положения резонанса с энергией пика люминесценции гетероструктур МКЯ GeSiSn/Si, было продемонстрировано, что взаимодействие данных гетероструктур с массивом алюминиевых наноантенн позволяет обеспечить усиление интенсивности излучения МКЯ на 30%. При помощи численного моделирования рассчитаны спектральные характеристики микрорезонаторов в фотонно-кристаллических слоях. Продемонстрировано усиление электрического поля в микрорезонаторах, которое обусловлено возбуждением волноводных резонансов в периодических массивах микрорезонаторов, и возбуждением собственных мод в случае одиночных микрорезонаторов. На основе данных численного моделирования были изготовлены p-i-n фотодиоды на основе фотонно-кристаллических структур с массивом микрорезонаторов в виде суперячеек (3×3) и (5×5). В спектре фототока для структуры с суперячейкой (5×5) наблюдалась узкая линия шириной 1 нм на длине волны 1.55 мкм, соответствующая возбуждению моды микрорезонатора.

 

Публикации

1. - Исследователи из России создали экологичный материал для оптоэлектроники ТАСС, 15.11.2023 г. (год публикации - )

2. Тимофеев В.А., Скворцов И.В., Машанов В.И., Гайдук А.Е., Блошкин А.А., Кириенко В.В., Уткин Д.Е., Никифоров А.И., Коляда Д.В., Фирсов Д.Д., Комков О.С. Excitation of hybrid modes in plasmonic nanoantennas coupled with GeSiSn/Si multiple quantum wells for the photoresponse enhancement in the short-wave infrared range Applied Surface Science, 159852,659, 1-10 (год публикации - 2024) https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.159852

3. Тимофеев В.А., Скворцов И.В., Машанов В.И., Никифоров А.И., Коляда Д.В., Фирсов Д.Д., Комков О.С., Самадов С.Ф., Сидорин А.А., Орлов О.С. Effects of high-temperature annealing on vacancy complexes and luminescence properties in multilayer periodic structures with elastically strained GeSiSn layers Journal of Vacuum Science & Technology B, 030601, 42, 1-8 (год публикации - 2024) https://doi.org/10.1116/6.0003557

4. Хахулин С.А., Фирсов Д.Д., Комков О.С., Тимофеев В.А., Скворцов И.В., Машанов В.И. Polarized reflectance spectroscopy of aluminum nanoantennas on the surface of emitting GeSiSn/Si heterostructures Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки, 17 (1.1) 83–88 (2024). (год публикации - 2024) https://doi.org/10.18721/JPM.171.113

5. Чуманов И.В., Фирсов Д.Д., Коляда Д.В., Комков О.С., Скворцов И.В., Машанов В.И., Тимофеев В.А. Study of the band structure of GeSiSn/Ge/Si heterostructures by FTIR photoreflectance spectroscopy Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки, 17, №1.1, стр. 62-67 (2024). (год публикации - 2024) https://doi.org/10.18721/JPM.171.110

6. - Российские ученые разработали новый материал для устройств нанофотоники Наука в Сибири, 07.12.2023 г. (год публикации - )

7. - Российские ученые разработали новый материал, совместимый с кремниевой технологией для создания эффективных устройств нанофотоники Russia 24, 06.12.2023 г. (год публикации - )