КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ

Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.

 

ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ


Номер проекта 23-79-10079

НазваниеОбратные акустические волны в пьезоэлектрических многослойных структурах и разработка нового типа датчиков на их основе

Руководитель Смирнов Андрей Владимирович, Кандидат физико-математических наук

Организация финансирования, регион Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова Российской академии наук , г Москва

Конкурс №85 - Конкурс 2023 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными

Область знания, основной код классификатора 09 - Инженерные науки; 09-701 - Электронная элементная база информационных систем

Ключевые слова обратные акустические волны, многослойные пьезоэлектрические структуры, точка с нулевой групповой скоростью, пьезоэлектрические пластины, метод конечных элементов, сильноанизотропные материалы, коэффициент электро-механической связи, температурный коэффициент задержки, влияние жидкости

Код ГРНТИ29.37.25


 

ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ


Аннотация
Особенности существования обратных волн, характеризующихся противоположно направленными фазовой и групповой скоростями, в пьезоэлектрических пластинах активно исследуются в настоящее время. Это связано с тем, что это единственный класс акустических волн в пластинах, который характеризуется наличием, так называемой точки с нулевой групповой скоростью (point of zero group velocity ZGV). В этих точках акустическая волна характеризуется нулевой групповой и конечной фазовой скоростями. Эти ситуации отличаются наличием стационарности и, в тоже время, локальным ограничением энергии. Т.е. при реализации резонатора на основе волны с нулевой групповой скоростью возможно накопление акустической энергии в толщине пластины под возбуждающим встречно-штыревым преобразователем (ВШП), что потенциально может существенно повысить добротность акустоэлектронного устройства. Однако существование обратных волн наблюдается в достаточно узком диапазоне, поэтому важно иметь возможность тонкой подстройки частоты к фиксированной толщине пластины. Кроме того, свойства обратных волн очень чувствительны к изменению характеристик звукопровода, из-за их близости к частоте отсечки, что открывает перспективы их использования при создании высокочувствительных акустических сенсоров. Это подтверждается интенсивным ростом интереса научного сообщества к тематике обратных акустических волн. Однако, для разработки подобных сенсоров необходимо не только исследовать влияние внешних воздействий, например температуры, но и влияние различных механических и электрических граничных условий (электрическое закорачивание, контакт с вязкой или проводящая жидкостью и т.д.) на свойства обратных акустических волн. Кроме того, актуальной является задача поиска путей увеличения частотного диапазона их существования, в том числе при помощи использования материалов обладающих сильной анизотропией. В этом случае для их возбуждения необходимо рассматривать структуры, содержащие материал с сильной анизотропией и пьезоэлектрический слой, на котором будет размещен возбуждающий ВШП. Интересным также, с физической точки зрения, является вопрос о коэффициенте электромеханической связи этих волн. Таким образом, существует большая неисследованная область, связанная с изучением особенностей существования, возбуждения, регистрации и использования обратных акустических волн в различных пьезоэлектрических структурах. В проекте предполагается решить задачу расширения частотных диапазонов существования обратных акустических волн в пьезоэлектрических структурах, исследовать физические особенности их возбуждения и распространения, и провести анализ их физических характеристик (температурного коэффициента задержки, коэффициента электромеханической связи). Будут проведены теоретические и экспериментальные исследования влияния вязкой или проводящей жидкости на свойства таких волн в структурах на основе сильноанизотропных материалов и пьезоэлектрических слоев с большим коэффициентом электромеханической связи. Будут исследована возможность создания датчиков электрических и механических свойств жидкости на основе указанных волн различных типов, используя, в том числе, созданные многослойные пьезоэлектрические структуры. На основании вышесказанного можно сделать вывод, что предлагаемая тематика является актуальной, а ожидаемые результаты будут находиться на мировом уровне, а в некоторых случаях и превышать его. Реализация проекта внесет существенный вклад в решение фундаментальной научной проблемы и заложит научные основы для создания патентоспособных технических решений, в том числе, для разработки новых сенсорных устройств.


 

ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ


 

Аннотация результатов, полученных в 2025 году
В результате выполнения второго этапа проекта разработана технология создания многослойной структуры, состоящей из диэлектрической пластины с высокой анизотропией и слоя пьезоэлектрика с высоким коэффициентом электромеханической связи. Эта технология была успешно апробирована на пластинах парателлурита и ниобата лития (также танталата лития и пьезокерамики). Технологический процесс включает химическую мойку с сушкой, плазменную чистку и активацию поверхности, а затем применение метода низкотемпературного бондинга в вакууме. Завершающим этапом является шлифовка и полировка пьезоэлектрического слоя или подложки для достижения заданных параметров поверхности и толщины слоев. Полученные образцы слоистых структур, на основе парателлурита и ниобата лития, исследованы с использованием методов сканирующей электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, рамановской спектроскопии, энергодисперсионного анализа и атомно-силовой микроскопии. Результаты показали, что в процессе низкотемпературного бондинга не возникают новые химические связи или сложные оксиды, а также не наблюдаются новые фазы на границе раздела, не характерные для исходных материалов. Сцепление поверхностей происходит за счет сил Ван-дер-ваальсового взаимодействия и электростатических сил, возникающих в результате активации поверхностных зарядовых состояний во время плазменной обработки. Метод конечных элементов, позволил разработать оптимальную топологию встречно-штыревых преобразователей для создания акустоэлектронных устройств на основе слоистой структуры TeO₂/LiNbO₃ («диэлектрическая пластина – пьезоэлектрический слой»). Моделирование обеспечило воспроизведение реальной экспериментальной ситуации и дало возможность оценить влияние геометрических параметров преобразователей на характеристики обратных волн в исследуемых структурах. На основе структуры «диэлектрическая пластина – пьезоэлектрический слой» (TeO₂/LiNbO₃) был создан набор экспериментальных образцов акустоэлектронного устройства, который включает как наборы встречно-штыревых преобразователей на одной пластине, так и единичные преобразователи с различными комбинациями пластин парателлурита и ниобата лития различной ориентации. Сравнение полученных экспериментальных результатов с теоретическими данными показало практически идеальное совпадение амплитуды и положения пика для обратной волны A1. Разработан и создан автоматизированный экспериментальный стенд исследования влияния температуры на свойства акустических волн, с возможностью автоматической фиксации данных на персональном компьютере. В качестве основы использована компактная низкотемпературная камера, векторный анализатор цепей и 16-канальный блок переключения между преобразователями. Экспериментальные исследования влияния температуры на свойства обратных акустических волн подтвердили теоретические результаты первого этапа проекта. При повышении температуры резонансный пик, соответствующий обратной волне A1, монотонно смещается к более низким частотам. Температурная чувствительность положения пика обратной волны A1 почти в два раза превышает таковую у обратной волны SH1. Проведенные теоретические исследования влияния проводимости и вязкости жидкости показали, что наибольшая чувствительность затухания к проводимости показала обратная волна существующая в структуре - ниобат лития(Y-срез)/теллур(X-срез), при отношении толщин LiNbO3/Te = 0.03. Наибольшая чувствительность фазовой скорости наблюдалась у той же волны при соотношении толщина 0.02. Наибольшую чувствительность затухания к вязкости проявила волна в пластине теллура без пленки. Наибольшая чувствительность фазовой скорости наблюдалась у волны с пластиной теллура и пленкой ниобата лития при отношении толщины пленки к толщине пластины равном 0.03 для диапазона вязкости от 0 до 1000 сПуаз. При вязкости от 1000 до 1500 сПуаз наиболее чувствительной была та же волна с толщиной пленки равной 0.02 от толщины пластины. Страница посвященная проекту на сайте научной группы: https://labsensors.org/reports/23-79-10079/

 

Публикации

1. Дацук Е.Р., Смирнова А.В., Маркушев В.М., Смирнов А.В. Construction features of sensor devices based on acoustic plate mode delay lines Radioelektronika, Nanosistemy, Informacionnye Tehnologii, Volume 17, # 2, pp. 173-182 (год публикации - 2025)
10.17725/j.rensit.2025.17.173

2. Дацук Е.Р., Горбачев И.А., Смирнов А.В. Automated test bench for measuring the response of an acoustoelectronic sensor to the influence of aqueous solutions of sodium chloride of different concentrations Radioelektronika, Nanosistemy, Informacionnye Tehnologii, Volume 17, # 2, pp. 161-166 (год публикации - 2025)
10.17725/j.rensit.2025.17.161

3. Смирнов А.В. , Дацук Е.Р., Кузнецова И.Е. Поиск обратных акустических волн, распространяющихся в пластинах сильно анизотропных материалов МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ В ТЕХНОЛОГИЯХ И ТЕХНИКЕ, 2024.-№4.-с. 98-101 (год публикации - 2024)

4. Воронова Н.В., Анисимкин В.И., Горнев Е.С., Тельминов О.А., Горбачев И.А., Кузнецова И.Е. Silicon sensor for microdroplets of volatile liquids Radioelektronika, Nanosistemy, Informacionnye Tehnologii (год публикации - 2025)
10.17725/j.rensit.2025.17.201

5. Смирнов А.В., Дацук Е.Р., Смирнова А.В., Краснопольская Л.М. Influence of Ethanol and Acetone Vapors on the Properties of Forward and Backward Acoustic Waves in the Structure "YX Lithium Niobate Plate – Higher Fungi Mycelium Film" Radioelektronika, Nanosistemy, Informacionnye Tehnologii, Volume 17, # 2, pp. 183-190 (год публикации - 2025)
10.17725/j.rensit.2025.17.183