КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 23-91-06102
НазваниеИсследование процессов диагностики плазменных процессов, шифр «Агнос»
Руководитель Лопаев Дмитрий Викторович, Кандидат физико-математических наук
Организация финансирования, регион Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный университет имени M.В.Ломоносова» , г Москва
Конкурс №3012 - Выполнение ориентированных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно – технологической сфере в области производства полупроводниковых приборов
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-211 - Технологии (технологические маршруты) изготовления полупроводниковых приборов
Ключевые слова ВЧ плазма, микроэлектроника, диагностика плазмы, неинвазивные методы диагностики, виртуальный датчик, поток ионов, энергетический спектр ионов, ФРИЭ, сеточный анализатор энергии частиц (RFEA), многоканальный анализатор энергии ионов, оптическая эмиссионая спектроскопия (ОЭС), пространственно-разрешенная оптическая эмиссионная спектроскопия, z-метр
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
Будут проведены:
1) разработка, создание и тестирование сегментной многоканальной системы с необходимым количеством анализаторов потока и энергии ионов на пластине до 300 мм;
2) разработка и создание системы контроля и измерений многоканального анализатора и программного обеспечение для управления анализатором и процессом измерений;
3) исследование работы многоканального анализатора в лабораторном и промышленном реакторе;
4) разработка, создание и тестирование оптической системы оценки однородности плазмы на основе пространственно-разрешенной эмиссионной спектроскопии;
5) разработка, создание и тестирование сегментного многоканального датчика распределения вч напряжения и тока на пластине до 300 мм;
6) разработка и создание системы контроля и измерений многоканального анализатора и программного обеспечение для управления анализатором и процессом измерений;
7) разработка, создание и тестирование модели «виртуального датчика» спектра и потока ионов на основе данных измерений вч напряжения и тока;
8) проведение измерений пространственного распределения плазмы в реакторах разработанными плазменными и оптическими диагностиками.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ