КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 23-91-06308
НазваниеИсследование и разработка технологических подходов к изготовлению планарных интегрально-оптических резонансных структур на основе кремния и нитрида кремния, унифицированных для сборки с полупроводниковыми лазерными модулями
Руководитель Лазаренко Петр Иванович, Кандидат технических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" , г Москва
Конкурс №3014 - Выполнение ориентированных и прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно – технологической сфере в области производства фотонных интегральных схем
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-412 - Технологические процессы изготовления фотонных интегральных схем
Ключевые слова Фотонные интегральные схемы, волноводы на нитриде кремния, резонаторы, фотодетекторы, лазерные интегральные модули, микролазеры, оптическая когерентная связь
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
1. Разработанные технологические подходы, эскизно-конструкторская документация и технологическая документация, которые должны позволить осуществлять изготовление фотонных интегральных схем, работающих в телекоммуникационном диапазоне длин волн 1,55±0,05 мкм и унифицированных для гибридной сборки микролазера высокой когерентности. При этом изготовление данных ФИС должно происходить на основе компонентов, соответствующих целевым характеристикам технического задания, а также с применением процессов, совместимых с КМОП-технологией.
2. Разработанная конструкторская и технологическая документация на изготовление компонентов ФИС, в том числе микрокольцевые резонаторы, фазосдвигатель и элементы сопряжения, унифицированные для сборки с полупроводниковыми лазерными модулями.
3. Результат исследований и испытаний разработанных экспериментальных образцов компонентов ФИС и ФИС, которые обеспечат определение корреляционных зависимостей между технологическими режимами - геометрическим параметрами - характеристиками сформированных образцов.
4. Сформулированные рекомендации по использованию результатов, полученных в проекте, в реальном секторе экономики, а также для дальнейших исследований и разработок, направленных на развитие интегральной фотоники.
5. Сформированные кадровый резерв квалифицированных специалистов в области интегральной фотоники и смежных областей, включающий в том числе молодых ученых.
6. Сформированный научно-технический задел в области интегральной фотоники и налаженное взаимодействие научных и промышленных организаций между собой, что позволит создать базу для дальнейшего внедрения и совершенствования разработок.
Достижение запланированных результатов будет проводиться при взаимодействии с исполнителями лотов 3 и 4, входящих в данное технологическое предложение, а также с организацией-заказчиком.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ