КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-29-00203
НазваниеИсследование фотоактивации сенсоров газов воздействием излучения в ультрафиолетовом или видимом диапазоне для повышения чувствительности и снижения температуры нагрева пленок нанокомпозитных оксидов металлов с n-n- и p-n-гетеропереходами в их структуре
Руководитель Петров Виктор Владимирович, Доктор технических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" , Ростовская обл
Конкурс №89 - Конкурс 2023 года «Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований малыми отдельными научными группами»
Область знания, основной код классификатора 09 - Инженерные науки; 09-703 - Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники
Ключевые слова сенсор газа, нанокомпозитные материалы,тонкие пленки, гетероструктуры, оксид цинка, оксид олова, оксид кобальта, электрофизические характеристики, активация процесса газочувствительности
Код ГРНТИ47.09.48
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Аннотация
Проект направлен на решение важной проблемы снижения температуры нагрева (ниже 100 оС) газочувствительных материалов и повышения их чувствительности (не хуже 0,1 ПДКмр) к угарному газу (СО), метану (СН4) и парам этанола (С2Н5ОН) за счет активации процесса газочувствительности воздействием излучения в ультрафиолетовом или видимом диапазоне длин света с одной стороны, , в том числе и в условиях присутствия влажности.
Данная заявка является продолжением исследований нашей группы, проводимых в рамках грантов РФФИ 20-07-00653 и РНФ 22-09-00621.
Наиболее изучаемыми газочувствительными материалами для сенсоров газов в последнее время являются нанокомпозиты на основе двух полупроводниковых оксидов металлов. Нами методом твердофазного пиролиза получены нанокомопозитные материалы, такие как ZnO-SnO2, TiO2-SnO2, Co3O4-ZnO. В этих материалах небольшими концентрациями второго оксида (0.5-10%) можно регулировать физико-химические, электрофизические и газочувствительные свойства материала, в целом. В частности регулируется энергия активации электропроводности, поверхностный потенциал, ширина запрещенной зоны, работа выхода и сродство к электрону. Связано это с наличием в структуре материала нанокристаллитов с узким разбросом по размерам от 10 до 30 нм, образующих n-n- и p-n-гетеропереходы в зависимости от типа проводимости полупроводниковых оксидов. Измеренные нами высокие значения поверхностного потенциала свидетельствуют о наличии сильного поверхностного электрического поля с напряженностью 10-20 МВ/см. Последнее способствует проявлению высокой чувствительности к низким концентрациям газов (не хуже 1 ppm для NO2) [2,4,7,8,11 17,23 из п.2.10]. В то же время, температуры нагрева газочувствительных материалов остаются высокими (150-200оС). Для снижения температур нагрева используют активацию излучением в УФ диапазоне длин волн (350-400 нм), совпадающую с краем поглощения широкозонных оксидов. Однако в большинстве случаев интенсивность УФ излучения выше 1мВт/см2. Это энергетически неэффективно и может привести к разрушению молекулы газа еще до момента ее аналитического определения. Решением данной проблемы является фотоактивация менее мощным (менее 1мВт/см2 ) излучением. Кроме этого, при использовании в качестве газочувствительного материала оксидов металлов с шириной запрещенной зоной менее 2 эВ, например, Co3O4, для фотоактивации можно использовать излучение видимого диапазона, что считается более перспективным. Однако таких исследований крайне мало.
Анализ литературных источников показывает, что пленки La2O3-SnO2, Co3O4-ZnO, ZnO-SnO2 и TiO2-SnO2 должны быть чувствительны к угарному газу (СО), метану (СН4) и парам этанола (С2Н5ОН).
В связи с этим, актуальность исследования определяется исследованием активирующего воздействия УФ излучения или видимого излучения с низкой (< 1мВт/см2) интенсивностью с целью снижения температуры нагрева (ниже 100 оС) и повышения их чувствительности (не хуже 0,1 ПДКмр) тонких пленок (30-300 нм) состава La2O3-SnO2, Co3O4-ZnO, ZnO-SnO2 и TiO2-SnO2 с содержанием одного из оксидов в количестве не более 10% сформированных методом твердофазного пиролиза к угарному газу (СО), метану (СН4) и парам этанола (С2Н5ОН), в том числе и в условиях присутствия влажности; комплексного исследования свойств La2O3-SnO2 пленок.
Научная новизна заключается в комплексном исследовании физико-химических, электрофизических и поверхностных свойств нанокомпозитных пленок La2O3-SnO2, сформированных методом твердофазного пиролиза, и газочувствительных характеристик пленок нанокомпозитных материалов La2O3-SnO2, Co3O4-ZnO, ZnO-SnO2 и TiO2-SnO2, при одновременном воздействии нагрева (не выше 100оС) и УФ излучения или видимого излучения с низкой интенсивностью (< 1мВт/см2) для определения функциональных характеристик сенсоров газов (NO2, СО, СН4, С2Н5ОН) с пределом чувствительности не хуже 0,1 ПДКмр для применения в системах экологического и технологического непрерывного контроля и учета загрязняющих газообразных веществ в атмосферу.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Аннотация результатов, полученных в 2024 году
Методом низкотемпературного твердофазного пиролиза получены тонкие пленки состава La2O3-SnO2 регулируемой толщины (30 – 300 нм) с концентрацией лантана не выше 10% на кремниевой, поликоровой и Al2O3 подложках.
Методами РФА, РФЭС, АСМ, КЗСМ, электрофизическими исследованиями проведены исследования фазового и элементного состава, морфологических, электрофизических и поверхностных свойств изготовленных пленок La2O3-SnO2. Пленки 3La2O3-97SnO2 имеют ярко выраженную шероховатость с перепадом высот (Sy) до 150 нм, что в 1,4 – 3 раза выше, чем у образцов с другим содержанием La. Увеличение концентрации La3+ в пленке SnO2 приводит к увеличению размеров частиц (22-27 нм),уменьшению значений энергии потолка валентной зоны, к увеличению значений сродства к электрону и колебанию значений работы выхода электрона. Максимальную величину поверхностного потенциала (Φb), равную 90 мВ имеет пленка 3La2O3-97SnO2. Значения Φb у других образцов в 3-8 раз меньше.
Определен активационный механизм электрической проводимости пленок La2O3-SnO2, соответствующий полупроводниковому механизму проводимости. Для образцов пленок 1La2O3-99SnO2, 3La2O3-97SnO2, 5La2O3-95SnO2 отожжённых при 600 °C, показатели энергии активации проводимости (Ea) в диапазоне температур составили 0.44, 0.87, 0.84 эВ, соответственно.
Обнаружено активирующее влияние излучения (400 нм) с низкой (< 1 мВт/см2) при воздействии NO2 с концентрациями 10, 5, 1, 0.5 ppm и рабочих температурах от 200 оС до 50 оС. Максимальный отклик сенсора (S) на основе 99.5ZnO-0.5SnO2 пленки при 150 -200 оС при воздействия излучения равен от 32 до 127, что более, чем в 6 раз выше, чем без воздействии излучения. Время отклика (t0,9) и восстановления (t0,1) при воздействии излучения уменьшились примерно в два раза. Влияние излучения позволило снизить рабочую температуру ZnO-SnO2 пленок на воздействие этанола до 150 оС. Величина отклика у сенсоров на основе пленки 0.5ZnO-99,5SnO2 при температурах ниже 250 оС примерно такая же, как и без воздействия излучения, но время отклика уменьшается в 2 раза. Для сенсоров на основе пленки 1ZnO-99SnO2 величина отклика увеличивается в 1,15 раза, время отклика уменьшается в 1,2 раза (до 90-110 с), а время восстановления уменьшается в 1,5-1,8 раза.
Одновременное влияние влажности и излучения ухудшает газочувствительные характеристики сенсоров на этанол на основе ZnO-SnO2 пленок.
Исследование отклика сенсоров на основе пленок TiO2-SnO2 на воздействие NO2 показало, что для сенсора на основе пленки 1TiO2-99SnO2 влияния излучения (400 нм) с низкой (< 1 мВт/см2) интенсивностью в диапазоне рабочих температур 50 – 100 °С улучшает величину отклика в 1,5 – 4 раза и повышает предел чувствительности сенсора. Фотоактивация при температуре 50 °С улучшила предел чувствительности с 5 до 1 ppm, для температур 100-150 °С предел чувствительности улучшился с 1 ppm до 0,5 ppm.
Исследование влияния откликов сенсоров на основе пленок составов TiO2-SnO2 в присутствии 60% влажности и воздействии NO2 c концентрацией 10 ppm при рабочих температурах 50 – 350 °С показало, что влияние влажности снижает отклик примерно в 4-90 раз.
Исследование отклика сенсоров на основе TiO2-SnO2 пленок на воздействие этанола показало, что более высоким откликом при рабочих температурах ниже 200 оС обладает сенсор на основе пленки 1TiO2-99SnO2. При воздействии излучения для сенсора на основе пленки 1TiO2-99SnO2 время t0,9 при рабочих температурах ниже 200 оС улучшается на 10-15%. Для сенсора на основе пленки 3TiO2-97SnO2 t0,9 при рабочих температурах меньше 200 оС улучшается на 20-40% и находится в диапазоне 90-180 с. Максимальным откликом на этанол с концентрацией 100 ppm при воздействии излучения при температуре 100 - 350 оС обладает сенсор основе пленки 3TiO2-97SnO2. Этот же сенсор в условиях излучения при 350 оС обладает максимальным откликом для концентраций этанола (100 – 2,5 ppm). Влияние 60% влажности приводит в уменьшению отклика сенсоров на этанол (50 ppm).
Отклик сенсоров на основе пленок ZnO-SnO2 и TiO2-SnO2 был незначительным на воздействие оксида углерода(II) (500 ppm) и отсутствовал при воздействии метана (1000 ppm) при рабочих температурах 100-350 оС.
Исследованы газочувствительные характеристики прототипов сенсоров на основе тонких пленок состава ZnO-SnO2 и TiO2-SnO2, сформированных на сенсорной платформе фирмы ООО «С-Компонент». Обнаружены особенности откликов сенсоров газов на основе пленок, состоящих из нанокристаллитов двух оксидов металлов. Предложен механизм образования двухуровневых» и «клювовидных» откликов сенсоров газов.
Концентрационная зависимость отклика сенсора на основе 1ZnO-99SnO2 пленки показала, что отклик при воздействии 0,5 ppm NO2 равен 7, а предел чувствительности может быть не хуже 0,05 ppm, что соответствует величинам 0,5ПДКмр и 0,1ПДКрз.
Концентрационная зависимость отклика сенсора на основе 3TiO2-97SnO2 и 5TiO2-99SnO2 пленок показала, что отклик при воздействии 0,5 ppm NO2 равен 5 и 4, соответственно. Предел чувствительности сенсора на основе 5TiO2-99SnO2 пленки может быть не хуже 0,01 ppm, а сенсора на основе 3TiO2-97SnO2 пленки не хуже 0,02 ppm. Эти величины соответствует величине 0,1ПДКмр и превышают на порядок величину 0,1ПДКрз.
Представлены отклики прототипа сенсора на основе тонких пленок состава 1TiO2-99SnO2 на этанол с концентрацией 100,50,10 и 2,5 ppm при воздействии излучения и рабочей температуре 350 оС. Отклик при воздействии этанола с концентрацией 2,5 ppm равен 1,3 и 1,19 для сенсоров на основе 3TiO2-97SnO2 и 1TiO2-99SnO2 пленок, соответственно. Предел чувствительности сенсоров на основе 3TiO2-97SnO2 и и 1TiO2-99SnO2 пленок может быть не хуже 1,0 ppm. Эти величины соответствует величине 0.5ПДКмр и превышают в 500 раз величину 0,1ПДКрз.
В 2004 г. опубликована одна статья в журнале ChemPhysMater (Q1), две статьи приняты в печать в журналы «Физика твердого тела» и «Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки».
Материалы исследований были представлены на пяти Всероссийских и международных конференциях, на которых представлено 10ть докладов.
Ссылки на информационные ресурсы в сети Интернет (url-адреса), посвященные проекту: https://sfedu.ru/press-center/news/71027
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2772571524000214?via%3Dihub
https://imt.belstu.by/
https://physica.spb.ru/reg/program.html
https://www.hse.ru/mirror/pubs/share/923239411
https://phenma2023.sfedu.ru/
http://lfpm.sfedu.ru/Files/2024/LFPM2024-Schedule.pdf
Публикации
1.
Толстяк Г.В., Баян Е.М., Гуляева И.А., Петров В.В.
SURFACE AND ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF TIN DIOXIDE FILMS CONTAINING 7 – 10 % LA3+
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки, №3.2, т. 17, 2024. (год публикации - 2024)
https://doi.org/10.18721/JPM
2.
Петров В.В., Иванищева А.П., Волкова М.Г., Толстяк Г.В., Баян Е.М.
Specificity of electrophysical and gas-sensitive properties of nanocomposite ZnO–TiO2 films formed by solid-phase pyrolysis
ChemPhysMater, 3, 314-319 (год публикации - 2024)
110.1016/j.chphma.2024.05.002
3. Бородина А.В., Гуляева И.А., Гусев Е.Ю., Петров В.В. Development of a method for deposition of thin nanocomposite films based on TiO2-SnO2 2024 International Conference on “Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications” (PHENMA 2024, Indore, India, November 6-11, 2024): Abstracts and Schedule; Southern Federal University – Rostov-on-Don; Taganrog: SouthernFederal University Press, 2024. – 404 p. , 2024 International Conference on “Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications” (PHENMA 2024, Indore, India, November 6-11, 2024): Abstracts and Schedule; Southern Federal University – Rostov-on-Don; Taganrog: SouthernFederal University Press, 2024. – 404 p. P.74-75. (год публикации - 2024)
4. Толстяк Г.В., Баян Е.М., Давиденко В.А., Петров В.В. Исследование распределения размеров нанокристаллитов в пленках оксида олова (iv), модифицированных 7, 10 % La3+ Физика бессвинцовых пьезоактивных и родственных материалов. Моделирование экосистем (Анализ современного состояния и перспективы развития): Труды Тринадцатого Междун. междисциплинарного молодежного симпозиума: Вып. 13.: в 2 т. (Ростов-на-Дону, 28–30 октября 2024 г.); Южный федеральный университет. – Ростов-на-Дону; Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2024. , Физика бессвинцовых пьезоактивных и родственных материалов. Моделирование экосистем (Анализ современного состояния и перспективы развития): Труды Тринадцатого Междун. междисциплинарного молодежного симпозиума: Вып. 13.: в 2 т. (Ростов-на-Дону, 28–30 октября 2024 г.); Южный федеральный университет. – Ростов-на-Дону; Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2024. 255-256. (год публикации - 2024)
5. Старникова А.П., Петров В.В., Толстяк Г.В., Гуляева И.А., Баян Е.М. Оптические и электрофизические свойства пленок La-SnO2 ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА (год публикации - 2024)
6. Бородина А.В., Волкова М.Г., Петров В.В. Исследование влияния рабочей температуры и УФ излучения на параметры сенсора газа на основе тонкой пленки TiO2-SnO2 Физика бессвинцовых пьезоактивных и родственных материалов. Моделирование экосистем (Анализ современного состояния и перспективы развития): Труды Тринадцатого Межд. междисциплинарного молодежного симпозиума: Вып. 13.: в 2 т. (Ростов-на-Дону, 28–30 октября 2024 г.); Южный федеральный университет. – Ростов-на-Дону; Таганрог: Изд-во Южного федерального университета, 2024. , Физика бессвинцовых пьезоактивных и родственных материалов. Моделирование экосистем (Анализ современного состояния и перспективы развития): Труды Тринадцатого Межд. междисциплинарного молодежного симпозиума: Вып. 13.: в 2 т. (Ростов-на-Дону, 28–30 октября 2024 г.); Южный федеральный университет. – Ростов-на-Дону; Таганрог: Изд-во Южного федерального университета, 2024. 105-106. (год публикации - 2024)
7. Коломыйцев К.В., Петров В.В. Multifunctional stand for measuring the parameters of sensors based on nanocomposite films 2024 International Conference on “Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications” (PHENMA 2024, Indore, India, November 6-11, 2024): Abstracts and Schedule; Southern Federal University – Rostov-on-Don; Taganrog: SouthernFederal University Press, 2024. – 404 p. , 2024 International Conference on “Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications” (PHENMA 2024, Indore, India, November 6-11, 2024): Abstracts and Schedule; Southern Federal University – Rostov-on-Don; Taganrog: SouthernFederal University Press, 2024. – 404 p. P.176. (год публикации - 2024)
8. Старникова А.П., Петров В.В., Гуляева И.А., Толстяк Г.В., Баян Е.М. Влияние концентрации La на структурные и электрофизические свойства пленок SnO2 ФизикА.СПб: тезисы докладов международной конференции, 21–25 октября 2024 г. СПб.: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2024. , ФизикА.СПб: тезисы докладов международной конференции, 21–25 октября 2024 г. СПб.: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2024. – С. 93-94. (год публикации - 2024)
9. Толстяк Г. В., Старникова А. П., Гуляева И. А., Баян Е. М., Петров В. В. Surface and electrical properties of La-SnO2 thin films BOOK of ABSTRACTS 11th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. 14-17 May, 2024 Saint-Petersburg, Russia – 2024, BOOK of ABSTRACTS 11th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. 14-17 May, 2024 Saint-Petersburg, Russia – 2024. – P. 412-413 (год публикации - 2024)
10. Старникова А.П., Волкова М.Г., Баян Е.М., Петров В.В. Gas sensing properties of TiO2-SnO2 nanocrystalline thin films for NO2 sensing BOOK of ABSTRACTS 11th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. 14-17 May, 2024 Saint-Petersburg, Russia – 2024. , BOOK of ABSTRACTS 11th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. 14-17 May, 2024 Saint-Petersburg, Russia – 2024. – P.467-468. (год публикации - 2024)
11. Давиденко В.А., Петров В.В. Estimation of the values of the work output and electron affinity of thin films of the composition La-SnO2 2024 International Conference on “Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications” (PHENMA 2024, Indore, India, November 6-11, 2024): Abstracts and Schedule; Southern Federal University – Rostov-on-Don; Taganrog: SouthernFederal University Press, 2024. – 404 p. , 2024 International Conference on “Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications” (PHENMA 2024, Indore, India, November 6-11, 2024): Abstracts and Schedule; Southern Federal University – Rostov-on-Don; Taganrog: SouthernFederal University Press, 2024. – 404 p. P.94-95. (год публикации - 2024)
12. Толстяк Г.В., Баян Е.М., Петров В.В. Влияние температуры синтеза на характеристики пленок диоксида олова, модифицированного ионами лантана (3+) Инновационные материалы и технологии: материалы Междунар. науч.-техн. конф. молодых ученых, Минск, 31 марта – 04 апреля 2024 г. – Минск : БГТУ, 2024. – 555 с., Инновационные материалы и технологии: материалы Междунар. науч.-техн. конф. молодых ученых, Минск, 31 марта – 04 апреля 2024 г. – Минск : БГТУ, 2024. – 555 с. – С. 229-230. (год публикации - 2024)
13. Давиденко В.А., Толстяк Г.В., Петров В.В. Исследование распределения размеров нанокристаллитов в пленках La-SnO2 Инновационные материалы и технологии: материалы Междунар. науч.-техн. конф. молодых ученых, Минск, 31 марта – 04 апреля 2024 г. – Минск : БГТУ, 2024. – 555 с., Инновационные материалы и технологии: материалы Междунар. науч.-техн. конф. молодых ученых, Минск, 31 марта – 04 апреля 2024 г. – Минск : БГТУ, 2024. – 555 с. – С. 153-155. (год публикации - 2024)
Аннотация результатов, полученных в 2025 году
1. Спектры пропускания пленок La2O3-SnO2 при длинах волн 325-1000 нм составляет более 85% для пленки, содержащей 1 % La3+; более 98 % - для пленки, содержащей 3 и 5 % La3+. Оптические ширины запрещенных зон, полученные по графикам Тауца, составляют 3,55, 3,75 и 4,32 эВ для La2O3-SnO2 пленок при увеличении содержания лантана от 1 до 5%.
2. Представлен простой метод оценки коэффициентов диффузии молекул диоксида азота в пленке TiO2-SnO2, которые ответственны за снижение чувствительности датчика с электродами, расположенными под пленкой TiO2-SnO2. Показано, что коэффициент диффузии молекул NO2 по механизму Кнудсена может быть равен (3-15)•10-7 м2/с, коэффициент поверхностной диффузии может быть находится в диапазоне (1.4–2.3)•10-7 м2/с.
3. Величина отклика сенсора на основе 1La2O3-99SnO2 пленки при 7.7 ppm NO2 при 200 °C выше (S=8,9) примерно в 1,2 раза, чем отклик сенсора на основе 5La2O3-95SnO2 пленки (S=7,1). При воздействии 60% влажности отклик сенсора на основе 5La2O3-95SnO2 пленки возрастает почти на порядок (S=69), а отклик сенсора на основе 1La2O3-99SnO2 пленки только в 1,4 раза (S=13). Предельная чувствительность сенсора на основе La2O3-SnO2 пленок составляет 0,19 ppm NO2.
Сенсоры на основе 5La2O3-95SnO2 и 3La2O3-97SnO2 пленок показывают высокий отклик (S=9,6 при 50 ppm и S=12,4 при 100 ppm, соответственно) к парам этанола в температурном диапазоне от 200 до 400 °C и при 60% влажности. Сенсоры с La2O3-SnO2 пленками имеют предел чувствительности ниже 1,25 ppm этанола при температуре 400, 350 и 300 °C. Влияние 60% влажности снижает величины отклика сенсоров к парам этанола.
Отклик на угарный газ (СО) и метан (CH4) с концентрацией 1000 ppm в температурном диапазоне 200 – 400 °C у сенсоров на основе La-SnO2 пленок отсутствовал.
4. Сенсоры на основе 1La2O3-97SnO2 и 5La2O3-95SnO2 пленок имеют предел чувствительности к 0,38 ppm NO2 при 50, 100, 200 °C при фотоактивации (400 нм и интенсивностью меньше 1мВт/см2) во всем исследуемом температурном диапазоне. Влияние влаги усиливает газосенсорные реакции на поверхности La2O3-SnO2 пленок к NO2. Сенсор с 5La2O3-95SnO2 пленкой обладает максимальными откликами к 7.7 ppm NO2 при фотоактивации (400 нм) и воздействии 60% влажности (S= 39,8, 31,4 39,3, 31,6, 14,9 для рабочих температур 200, 150, 100, 50 и 20 °C, соответственно) c пределом чувствительности 0,025 ppm NO2. Время отклика, при этом колеблется от 124-200 с для низких концентраций NO2 до 260-650 с для высоких концентраций NO2.
Фотоактивация (560 нм с интенсивностью менее 1мВт/см2) показала, что предел чувствительности La2O3-SnO2 сенсоров к NO2 хуже (3 ppm при 20 °C). Влияние 60% влажности при фотоактивации (560 нм) значительно ухудшает ситуацию.
Фотоактивация (400 и 560 нм) La2O3-SnO2 сенсоров к парам этанола приводила к снижению величин отклика на 30-40%. Однако, при воздействии излучения 560 нм величина отклика была на 10-20% выше, чем при воздействии излучения 400 нм. Это объясняется наличием p-n-гетеропереходов между кристаллитами La2O3 и SnO2 в пленке, что обеспечивает разрешенные состояния в запрещенной зоне газочувствительного материала.
Влияние 60% влажности снижает величину откликов La2O3-SnO2 этанола при 350 °C и фотоактивации в 1,4- 2,0 раза.
5. Величина отклика сенсора с 1Co3O4-99ZnO пленкой при 150 °С была наибольшей при 3,85 ppm NO₂ (S=3,83), а время отклика и восстановления минимально (32-41с и 36 -83 с). Воздействие 60% влажности приводит к более высоким величинам отклика (для 7,7 ppm - 28,3, и 9,7 для 1Co3O4-99 ZnO и 5Co3O4-95ZnO пленок, соответственно). Предел чувствительности при 150 – 200 °C может достигать 0,2 ppm NO₂.
Сенсоры на основе Co3O4-ZnO пленок имеют предел чувствительности к парам этанола при 200 до 400 °C и при 60% влажности около 1,2 ppm. Время отклика сенсоров составляет 110 – 300 с. Влияние 60% влажности привело к резкому снижению величины отклика на воздействие 5-50 ppm паров этанола.
Отклики Co3O4-ZnO пленок на СО (1000 ppm) незначительны и находятся в диапазоне 1,1-1,4 для всего диапазона температур. Времена откликов лежат в диапазоне 100-200 с,а отклик на метан отсутствовал.
6. Сенсоры на основе Co3O4-ZnO пленок при фотоактивации (400 нм и интенсивностью меньше 1мВт/см2) чувствительны к 0,39 ppm NO2 при рабочей температуре 50 - 200 °C. Влияние 60% влажности повышает отклики Co3O4-ZnO сенсоров, в том числе и при фотоактивации (400 нм). Максимальными откликами при 7.7 ppm NO2, фотоактивации (400 нм) и воздействии 60% влажности обладает сенсор с 1Co3O4-99ZnO пленкой, величины которой равны 18,3, 11,9, 10,2, 7,9, 16,0 для рабочих температур 200, 150, 100, 50 и 20 °C, соответственно. Предел чувствительности сенсоров ниже 0,09 ppm. Время отклика, при этом колеблется от 100-200 с для низких концентраций NO2 до 200-500 с для высоких концентраций.
Результаты фотоактивации газосенсорных реакций (560 нм с интенсивностью менее 1мВт/см2) показали, что сенсор на основе 1Co3O4-99ZnO пленки чувствует концентрацию NO2 на уровне ниже 3 ppm при 20 °C, а предел чувствительности может быть на уровне ниже, чем 0,1 ppm NO2. Влияние 60% влажности при фотоактивации (560 нм) ухудшает ситуацию по чувствительности.
Исследования откликов сенсоров с Co3O4-ZnO пленками на воздействие угарного газа и метана при фотоактивации и влажности не проводились ввиду малых или отсутствия откликов.
7. Макеты сенсоров газа была изготовлены на сенсорной платформе фирмы ООО «С-Компонент» (г.Москва, Россия). Сенсор с 3La2O3-97SnO2 пленкой проявляет максимальный отклик к парам этанола с концентрацией 100 ppm (S=12,4) при рабочей температуре 400 °C. Сенсор c 3La2O3-97SnO2 пленкой обладает хорошей чувствительностью при воздействии 1,25 ppm этанола при температуре 400, 350 и 300°C, с возможным пределом чувствительности на уровне 0,07-0,7 ppm паров этанола, что составляет 0,03-0,3 ПДКмр для этого газа.
Предел чувствительности сенсоров на основе 1La2O3-99SnO2 и 5La2O3-95SnO2 пленок на воздействие NO2 при 20 °C при фотоактивации (400 нм) и воздействии 60% видно ниже 0,09 ppm. Экстраполяция кривых показывает, что сенсоры на основе La2O3-SnO2 пленок могут быть чувствительны к концентрации 0,025-0,035 ppm NO2, что составляет 0,5 ПДКсс и 0,1 ПДКмр для NO2.
Концентрационные зависимости отклика сенсоров на основе 1Co3O4-99ZnO и 5Co3O4-95ZnO пленок на воздействие NO2 при 20 и 100 °C при фотоактивации (400 нм) и воздействии 60% влажности показали, что предел чувствительности сенсоров может находиться в диапазоне (0,012 - 0,06) ppm, что составляет (0,1 - 0,6) ПДКмр и (0,3-1,0) ПДКсс для диоксида азота. С помощью таких пленок можно производить измерения концентрации NO2 на уровне примерно 0,1 ПДКрз и ПДКмр.
Возможность практического использования результатов
Данный проект является заделом для создания технологии изготовления высокочувствительных сенсоров газов, выпускаемых в Российской Федерации, которые до этого не производились.