КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-79-10316
НазваниеИнтерфейсы графен-углеродные нанотрубки/оксид металла для наноэлектронных устройств: прогнозирование методами in silico и экспериментальная проверка
Руководитель Слепченков Михаил Михайлович, Кандидат физико-математических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" , Саратовская обл
Конкурс №98 - Конкурс 2024 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными
Область знания, основной код классификатора 09 - Инженерные науки; 09-710 - Новые материалы для наноэлектронных приборов
Ключевые слова квантовый транспорт, теория функционала плотности в приближении сильной связи, метод неравновесных функций Грина, планируемый эксперимент, графен-нанотрубные пленки, оксиды металла, интерфейсные наноматериалы, электропроводность, фононный транспорт, трансфер заряда, туннельный барьер, наноэлектроника
Код ГРНТИ29.19.22
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Аннотация
Проект направлен на решение проблемы развития физических представлений о взаимодействии оксидов металла с полностью углеродными наноматериалами с позиции разработки на основе интерфейсов углеродный наноматериал-оксид металла наноэлектронных устройств с улучшенной производительностью. Актуальность решения сформулированной проблемы определяется целями, ключевыми направлениями и задачами развития электронной промышленности Российской Федерации, обозначенными соответствующими положениями Стратегии развития электронной промышленности Российской Федерации на период до 2030 года. Выполнение заявленных в проекте исследований позволит создать научно-технологический задел в области разработки устройств микро- и наноэлектроники на основе углеродных наноструктур, в том числе полупроводниковых логических элементов с нанометровыми топологическими размерами. Конечным результатом проекта является получение нового интерфейса полностью углеродный наноматериал/оксид металла, характеризующегося высокими электро- и теплопроводностью, стабильностью токовых характеристик (ВАХ) при изменении температуры в широком диапазоне (от -50 °С до 250°С) и перспективного для использования в устройствах наноэлектроники, а именно в полевых транзисторах. Под интерфейсом в проекте понимается взаимодействующие посредством сил Ван-дер-Ваальса квази-2D планарные слоистые углеродные структуры, образованные 2D графеном и 1D одностенными углеродных нанотрубками (УНТ), и наноструктуры оксида металла различной размерности (0D, 2D, или 3D). Квази-2D структура графен-УНТ рассматривается на роль канала транзистора, проводимостью которого можно управлять за счет изменения топологии графена и нанотрубки, а также их взаимного расположения в составе гибридной архитектуры. В связи с этим для исследования выбрано три топологических типа графен-нанотрубной архитектуры, наиболее часто встречающихся в реальных экспериментах: 1) монослойный графен, ковалентно связанный с вертикально ориентированными нанотрубками; 2) монослойный графен, ковалентно или ван-дер-ваальсово связанный с горизонтально ориентированными нанотрубками; 3) островковые наноструктуры, в которых фрагменты графена и углеродные нанотрубки образуют участки с повышенной плотностью углерода. Оксид металла (HfO2, Al2O3, TiO2) выполняет роль подзатворного диэлектрика транзистора. Для того чтобы снизить временные и ресурсные затраты на проведение технологически сложных экспериментальных исследований и добиться высокой эффективности управления свойствами синтезируемых наноматериалов, исполнителями проекта будет применяться техника планируемого эксперимента. Ее использование позволит, с одной стороны, выявить на атомном и квантовом уровнях закономерности влияния топологических особенностей построения графен-нанотрубных архитектур на электронные и электрофизические свойства формируемых из них квази-2D слоистых полностью углеродных наноматериалов, а также понять физические механизмы взаимодействия этих наноматериалов с оксидами металла при образовании интерфейса графен-УНТ/оксид металла. С другой стороны, полученные результаты численных экспериментов помогут с высокой степенью вероятности определить, какие из рассматриваемых структурных конфигураций интерфейсов графен-УНТ/оксид металла обладают наиболее оптимальными физическими параметрами для устройств наноэлектроники. Среди круга физических явлений, изучаемых в рамках численного эксперимента, особое внимание будет уделено тем явлениям, которые могут оказывать ключевое влияние на работу реальных транзисторных устройств: 1) нагревание канала в процессе протекания по нему тока; 2) возникновение тока утечки при прохождении части носителей заряда («горячих» электронов) сквозь туннельный барьер, возникающий на границе проводящего канала и подзатворного диэлектрика; 3) влияние подложки и температуры на токовые характеристики устройства.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Аннотация результатов, полученных в 2025 году
1) Получены атомистические модели шести структурных конфигураций бесшовных соединений графен-ОУНТ с нанотрубками (6,5), (11,10), (12,6), (14,4), (15,6) и (16,0), супер-ячейки которых характеризуются отрицательной величиной энергии связи (порядка -0.1 ÷ -0.2 эВ/атом). Для отобранных структурных конфигураций проведены расчеты электронно-энергетических (уровень Ферми) и электрофизических (электропроводность, сопротивление, подвижность) параметров при варьировании расстояний между нанотрубками в диапазоне 3-5 нм и их длины в диапазоне 2-9 нм. На основе полученных результатов для дальнейших исследований выбрана супер-ячейка гибридной структуры графен-ОУНТ (16,0), которая характеризуется значением уровня Ферми -4.93 эВ, величиной сопротивления 14.7 кОм (проводимостью 0.07 мСм) и подвижностью электронов 19. 98 м2/(с*В).
2) Проведена параметризация метода SCC DFTB для физически корректного описания взаимодействия между атомами оксидов металлов и атомами углерода при формировании интерфейса графен-ОУНТ/оксид металла.
3) Установлено, что наиболее энергетически выгодным является способ осаждения оксидов металла на поверхность гибридной пленки графен-ОУНТ в виде наночастиц. На основании результатов расчета энергии связи были определены оптимальные варианты расположения наночастиц, характеризующиеся наибольшей по модулю величиной энергии связи.
4) На основе рассчитанных распределений атомного заряда для супер-ячеек интерфейсов графен-ОУНТ/оксид металла (Al2O3, TiO2 и HfO2) с различным числом наночастиц оксида металла установлено, что в случае интерфейса графен-ОУНТ/Al2O3 наблюдается трансфер заряда с углеродного каркаса на наночастицы Al2O3, причем с ростом числа частиц величина переданного заряда увеличивается, достигая 0.69e (е-заряд электрона) при максимальной рассмотренной концентрации Al2O3. Для интерфейса графен-ОУНТ/TiO2 трансфер заряда происходит с наночастиц TiO2 на углеродный каркас и его суммарная величина составляет 4.7e для максимальной рассмотренной концентрации TiO2. Для интерфейса графен-ОУНТ/HfO2 трансфер заряда также происходит с оксида металла на углеродный каркас и его суммарная величина при максимальной рассмотренной концентрации HfO2 составляет 1.15e.
5) Выявлены закономерности влияния оксидов металла на электронно-энергетические (уровень Ферми) и электрофизические (подвижность носителей, сопротивление/проводимость) характеристики структур графен-ОУНТ. Установлено, по сравнению с положением уровня Ферми структуры графен-ОУНТ уровень Ферми интерфейса графен-ОУНТ/Al2O3 сместился вниз по оси энергий. Для интерфейсов графен-ОУНТ/TiO2 и графен-ОУНТ/HfO2 уровень Ферми сдвигается вверх по оси энергии по сравнению с положением уровня Ферми структуры графен-ОУНТ. Различие в поведении уровня Ферми между интерфейсами объясняется различием в направлении трансфера заряда между углеродным каркасом и оксидом металла: в случае интерфейса графен-ОУНТ/Al2O3 углеродный каркас отдает заряд оксиду металла, а в двух других случаях он его принимает. Сопротивление интерфейса графен-ОУНТ/Al2O3 составляет 43 кОм, проводимость - 0.02 мСм, оставаясь того же порядка величины, что и для структуры графен-УНТ (сопротивление 14.7 кОм, проводимость 0.07 мСм). Сопротивления интерфейсов графен-ОУНТ/TiO2 и графен-ОУНТ/HfO2 составляют 28 кОм и 53 кОм соответственно, а проводимости - 0.03 мСм и 0.03 мСм соответственно. Подвижность электронов в интерфейсах графен-ОУНТ/оксид металла уменьшается в сравнении с подвижностью носителей в углеродной структуре графен-ОУНТ: в случае интерфейса графен-ОУНТ/TiO2 - на 3 порядка величины, в случае интерфейсов рафен-ОУНТ/Al2O3 и графен-ОУНТ/HfO2 - на 2 порядка величины.
6) На основании результатов расчета транспорта фононов для интерфейсов графен-ОУНТ/оксид металла (Al2O3, TiO2 и HfO2) с максимальной рассмотренной концентрацией наночастиц оксида металла установлено, что основной вклад в теплопроводность интерфейса графен-ОУНТ/HfO2 вносят фононные моды в диапазоне частот от 109.8 ТГц до 145.3 ТГц, интерфейса графен-ОУНТ/TiO2 - в диапазоне частот от 112.3 ТГц до 146.5 ТГц и интерфейса графен-ОУНТ/Al2O3 - в пределах от 115.5 ТГц до 153.2 ТГц. В рамках метода Грина-Кубо с использованием молекулярной динамики получены численные оценки коэффициента теплопроводности исследуемых интерфейсов в диапазоне температур 100-600К. Установлен эффект увеличения коэффициента теплопроводности интерфейсов графен-ОУНТ/оксид металла на один – два порядка в зависимости от температуры по сравнению с коэффициентом теплопроводности структуры графен-ОУНТ.
7) Рассчитаны туннельные сопротивления интерфейсов графен-ОУНТ/оксид металла (Al2O3, TiO2 и HfO2) с максимальной рассмотренной концентрацией наночастиц оксида металла. Показано, что величина туннельного сопротивления составляет 5.2 кОм для интерфейса ОУНТ/Al2O3, 9.1 кОм для интерфейса графен-ОУНТ/HfO2 и 11.2 кОм для интерфейса интерфейса графен-ОУНТ/TiO2.
8) Установлено, что с ростом температуры в диапазоне от 0 до 333 К сопротивление интерфейсов графен-ОУНТ/оксид металла уменьшается. Для интерфейса графен-ОУНТ/Al2O3 - с 43 до 18 кОм, для интерфейса графен-ОУНТ/TiO2 - с 28 кОм до 15 кОм и для интерфейса графен-ОУНТ/HfO2 - с 53 кОм до 31 кОм.
9) Синтезированы образцы графен-нанотрубных пленок с учетом рекомендаций, полученных по результатам проведенных численных экспериментов. Диаметр ОУНТ составлял 1–2,5 нм, удельная поверхность 420 м2/г. Показано, что до лазерной обработки исходная пленка графен-ОУНТ имела электропроводность 0,01 мСм, а обработка лазером привела к формированию связей между двумя типами углеродных материалов и к увеличению электропроводности в 4 раза до 0,04 мСм, что хорошо коррелирует с данными численных экспериментов по оценки электропроводных характеристик углеродной пленки графен-ОУНТ.
10) Получены образцы пленок графен-ОУНТ с нанесенными слоями наночастиц оксидов металла различной толщины: для интерфейсов графен-ОУНТ/Al2O3 - образцы с толщиной слоя Al2O3 5 и 20 нм, для интерфейсов графен-ОУНТ/TiO2 и графен-ОУНТ/HfO2 - образцы с толщиной слоя наночастиц оксидов металла 5, 20 и 50 нм.
11) Получены результаты измерения ВАХ образцов наноматериалов графен-ОУНТ/оксид металла в диапазоне температур от -50 до 200 °С после лазерной обработки, по которым определялись значения электропроводности. Образец со слоем частиц Al2O3 толщиной 5 нм имел электропроводность в диапазоне 0,17–1,56 мСм, с 20 нм слоем частиц Al2O3 - в диапазоне 0,51–3,79 мСм. Образец интерфейса с 5 нм слоем частиц HfO2 демонстрировал электропроводность в диапазоне от 0,05 до 0,47 мСм, для 20 нм слоя HfO2 - в пределах от 0,17 до 0,40 мСм, для 50 нм слоя HfO2 - в пределах 0,85–1,18 мСм. Образец интерфейса с 5 нм слоем частиц TiO2 демонстрировал электропроводность в пределах от 0,04 до 4,09 мСм, для 20 нм слоя TiO2 - в пределах от 0,07 до 0,77 мСм, для 50 нм слоя TiO2- в диапазоне 0,25–6,30 мСм.
Публикации
1.
Слепченков М.М., Барков П.В., Глухова О.Е.
Features of Electronic Transport Properties in All-Carbon Films Based on Bilayer Graphene and Single-Walled Nanotubes
Crystals, Vol. 15, Iss. 5, P. 445 (год публикации - 2025)
10.3390/cryst15050445
2. Слепченков М.М., Петрунин А.А., Глухова О.Е. Thermal conductivity properties of the graphene-carbon nanotube hybrid/Al2O3 interface Letters on materials (Письма о материалах) (год публикации - 2025)
3. Слепченков М.М., Мурашко Д.Т., Куксин А.В., Рязанов Р.М., Лебедев Е.А., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Герасименко А.Ю., Глухова О.Е. Электропроводные свойства интерфейсов графен-нанотрубный гибрид/оксид алюминия Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика (год публикации - 2025)