КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-91-18001
НазваниеРазработка технологии получения особой степени чистоты (ОСЧ) хлористого водорода (HCl) 99,999 % (марка N5.0) для нужд предприятий микроэлектроники РФ
Руководитель Воротынцев Андрей Владимирович, Кандидат химических наук
Организация финансирования, регион Общество с ограниченной ответственностью "Силтрон" , г Москва
Конкурс №3018 - Конкурс 2024 года «Выполнение ориентированных и прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно-технологической сфере в области производства интегральных схем» (3018)
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-122 - Расходные материалы для изготовления и корпусирования интегральных схем
Ключевые слова Высокочистый хлористый водород, низкотемпературная ректификация, адсорбция, газовая хроматография, лимитирующая примесь, микроэлектроника
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
Должно быть проведено аналитическое исследование существующих технологий в мире и применяемого аналитического оборудования.
В результате выполнения работы должен быть разработан, апробирован и внедрен в практику комплект технологической документации, полностью описывающий технологию получения ОСЧ хлористого водорода (99,999 %) применемого в эпитаксиальном процессе наращивания сверхвысокоомного эпитаксиального кремния.
Комплект документации должен включать в себя.
1. Отработанный и оптимизированный метод синтеза HCl методом низкотемпературной ректификации;
2. Отработанный и оптимизированный метод очистки HCl;
3. Программа и методики испытаний образцов материала;
4. Экспериметнальны и опытный образец ОСЧ HCl 99,999 %;
Должна быть составлена справка о соответствии полученных результатов требованиям ТЗ (Форма 6 к Приложению № 2 к конкурсной документации).
Должно быть составлено заключение от предприятия - заказчика работы. о возможности применения разработанного ТП в производственной деятельности.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ