КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-91-22006
НазваниеРазработка технологии изготовления микроэлектронного пространственного модулятора терагерцового излучения на основе микроэлектромеханических систем микрозеркального типа для систем связи и устройств визуализации
Руководитель Козлов Дмитрий Владимирович, Кандидат технических наук
Организация финансирования, регион Акционерное общество «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем» , г Москва
Конкурс №3022 - Конкурс 2024 года «Выполнение ориентированных и прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно-технологической сфере в области производства приборов СВЧ и терагерцового диапазона (в части чипов и микроэлектронных составляющих)» (3022)
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-512 - Технологические процессы изготовления приборов СВЧ и терагерцового диапазона (в части чипов и микроэлектронных составляющих)
Ключевые слова Микромеханический пространственный модулятор, терагерцовый диапазон излучения, МЭМС, микрозеркало, микросистемная техника
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
– создание технологии изготовления пространственного модулятора терагерцового излучения на основе микроэлектромеханических систем микрозеркального типа;
– создание прототипа пространственного модулятора терагерцового излучения на основе микроэлектромеханических систем микрозеркального типа для систем связи и устройств визуализации.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ