КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 23-91-01015
НазваниеРазработка ПАВ для безметального проявителя, использующегося в процессах фотолитографии с проектными нормами 180–90нм и ниже, и освоение его микротоннажного производства. Шифр «ПАВ»
Руководитель Бадамшина Эльмира Рашатовна, Доктор химических наук
Организация финансирования, регион Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Федеральный исследовательский центр проблем химической физики и медицинской химии Российской академии наук , Московская обл
Конкурс №3010 - Конкурс 2023 года «Проведение ориентированных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно – технологической сфере» и «Проведение прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно – технологической сфере»
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-122 - Расходные материалы для изготовления и корпусирования интегральных схем
Ключевые слова поверхностно-активное вещество, олигомер на основе окиси этилена и пропилена, безметальный проявитель, содержание металлов, молекулярно-массовые характеристики, поверхностное натяжение
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
Организовать микротоннажное производство ПАВ мощностью не менее 10 кг/год на базе ФИЦ ПХФ и МХ РАН, для чего необходимо изготовить:
- опытную установку синтеза поверхностно-активного вещества для безметального проявителя мощностью не менее 10 кг/год;
- экспериментальные образцы ПАВ в количестве не менее 3-х шт. по 15 г;
- опытные образцы ПАВ в количестве не менее 3-х шт. по 200 г;
- опытная партия ПАВ в количестве не менее 1000 г;
подготовить:
- комплект технологической документации (ТД) на изготовление экспериментальных образцов ПАВ (пусковая записка);
- рабочую конструкторскую документацию на создание установки для наработки опытной партии ПАВ;
- рабочую технологическую документацию (ТД) на изготовление опытных образцов ПАВ;
- ТД на процесс изготовления ПАВ с присвоением литеры «О1»;
- ТУ на ПАВ с присвоением литеры «О1».
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ