КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-91-23005
НазваниеИсследование и разработка технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины
Руководитель Коломийцев Алексей Сергеевич, Кандидат технических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" , Ростовская обл
Конкурс №3023 - Конкурс 2024 года «Выполнение ориентированных и прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно-технологической сфере в области производства приборов микросистемной техники (МЭМС, МОЭМС, МАС) и миниатюрных электронных модулей на основе микроэлектронных технологий» (3023)
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-611 - Технологии (технологические маршруты) изготовления приборов микросистемной техники (МЭМС, МОЭМС, МАС) и миниатюрных электронных модулей на основе микроэлектронных технологий
Ключевые слова Микроэлектромеханические системы, технологии МЭМС, корпусирование, инкапсуляция, микроэлектроника, bosch-процесс, литография, кремний, электронная компонентная база робототехнических систем
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
В результате выполнения проекта в соответствии с задачами должны быть получены следующие научные результаты:
А. Разработана технология и технологический маршрут изготовления МЭМС емкостного типа с инкапсуляцией на уровне пластины.
Б. Проработано апробирование технологии на выбранном макетном образце демонстрационной схемы.
В. Проведены исследования достигаемых характеристик уровня вакуума в рабочей зоне МЭМС.
Д. Проведены исследования устойчивости предложенной структуры к влиянию внешних факторов, потенциально воздействующих на качество герметизации, функционирования и параметров МЭМС (газовые среды, температура, давление, вибрация, механические нагрузки и градиенты температур и т.п.).
Е. Разработан лабораторный технологический регламент изготовления электростатического МЭМС с инкапсуляцией на уровне пластины и рекомендации для конструирования МЭМС, инкапсулированных по разработанной технологии в виде необходимых технологических карт, моделей, описаний, программ и методик испытаний и контроля качества.
По итогам выполнения проекта будет разработана конструкторская документация на элемент МЭМС с инкапсуляцией на уровне платины (топологический чертеж, пояснительная записка) и технологическая документация для изготовления кристалла МЭМС с инкапсуляцией на уровне платины (маршрутная карта, лабораторный технологический регламент).
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ